高级研究工程师(运营)

您将做什么

• 使用 SPC、结构化分析和数据驱动的故障检测,监控并维持注入/RTA 的性能。
• 建立统计模型或机器学习工作流程,以预测漂移、设备劣化或异常行为。
• 维护并改进工艺配方,涵盖剂量控制、能量准确度、倾斜/扭转角度、退火温度曲线和均热时间。
• 保持日常工艺 SPC 稳定,并处理失控状况和影响良率的趋势。
• 执行例行工艺检查和认证晶圆,并对照控制限验证性能。
• 主导缺陷减少、污染控制和维护后的工艺恢复。
• 检测早期设备漂移或注入对准偏差,并自动化趋势和异常检测。
• 支持专注于运行稳定性和纠正措施的 DOE 研究。
• 与设备工程师和工具供应商一起排除离子注入机和 RTA 设备问题。
• 支持系统校准、束流调谐、晶圆温度曲线测量、配方设置和设备认证。
• 主导设备稳定性、束流质量、热控制准确度和晶圆间重复性的改进。
• 确保按照洁净室规程安全操作高能离子束系统和热处理设备。
• 推动设备匹配和腔室认证,以确保多台设备结果一致。
• 主导设备警报、硬件故障、传感器问题、束流调谐不稳定或意外漂移的故障排除。
• 支持新注入/RTA 系统的安装、验收测试、校准和升级。